罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演化而来的。依据罗茨真空泵作业范围的不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵(又称机械增压泵)和高真空多级罗茨泵。一般来说，罗茨泵具有以下特色：

  罗茨泵的结构如图所示。在泵腔内，有二个“8”字形的转子互相垂直地装置在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作互相反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有必定的空隙，能轻松完成高转速运转。因为罗茨泵是一种无内紧缩的真空泵，一般紧缩比很低，故高、中真空泵需求前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制作精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了更好的进步泵的极限真空度，可将罗茨泵串联运用。

  罗茨泵的作业原理与罗茨鼓风机类似。因为转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。因为吸气后v0空间是全封闭状况，所以，在泵腔内气体没有紧缩和胀大。 但当转子顶部转过排气口边际，v0空间与排气侧相通时，因为排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强忽然增高。当转子持续滚动时，气体排出泵外。

  如图为罗茨泵转子由0转到180的抽气进程。在0方位时(图中a)，下转子从泵进口封入v0体积的气体。当转到45方位时(图中b)，该腔与排气口相通。因为排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到90方位时(图中c)，下转子封入的气体，连同返冲的气体一同排向泵外。这时，上转子也从泵进口封入v0体积的气体。当转子持续转到135时(图中d)，上转子封入的气体与排气口相通，重复上述进程。180(图e)方位和0方位是相同的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。

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